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热集成的贵金属催化多孔硅微反应器元件的制备 期刊论文
化工学报, 2008, 卷号: 59, 期号: 2, 页码: 354-358
Authors:  常彦龙;  苏旭;  马传利;  王春明;  Chang, Y.
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单晶硅  多孔硅  化学镀  电镀  微反应器  微换热器  分散式生产  Distributed production  Electroless deposition  Microheater  Microreactor  Monocrystal silicon