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热丝辅助MWECR-CVD法沉积氢化非晶硅薄膜研究 期刊论文
太阳能学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 10, 页码: 986-989
Authors:  刘国汉;  丁毅;  朱秀红;  何斌;  陈光华;  贺德衍;  Liu, G. (ghchen@bjut.edu.cn)
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电子回旋共振  等离子体增强化学气相沉积  氢化非晶硅薄膜  热丝  光致衰退效应  Hot wire  Microwave electron cyclotron resonance-chemical vapor deposition (MWECR-CVD) Hydrogen concentration  
MWECR-CVD法高速沉积氢化非晶硅薄膜 期刊论文
兰州大学学报(自然科学版), 2006, 期号: 2, 页码: 43-46
Authors:  刘国汉;  丁毅;  何斌;  朱秀红;  陈光华;  贺德衍
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微波电子回旋共振化学气相沉积  氢化非晶硅薄膜  磁场  微波  热丝  
立方氮化硼薄膜的生长特性与粘附性研究 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 1998, 卷号: 47, 期号: 5, 页码: 871-875
Authors:  马锡英;  岳金顺;  贺德衍;  陈光华
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立方氮化硼薄膜  生长特性  粘附性  扫描电子显微镜  射频等离子体  红外吸收光谱  光电子能谱  过渡层  热丝  衬底材料  
β-C?3N?4的制备及若干问题探讨 期刊论文
物理, 1998, 期号: 2, 页码: 3
Authors:  陈光华;  严辉;  彭军;  张亚菲
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合成β-c_3n_4  反应溅射  热丝cvd  
β—C3N4超硬材料的汽相合成 期刊论文
北京工业大学学报, 1998, 期号: 3, 页码: 1-4+19
Authors:  陈光华;  严辉;  王波;  宋雪梅;  张兴旺;  路永刚
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β-C_3N_4的合成  反应溅射  热丝CVD  
热丝辅助等离子体化学气相法生长c-BN薄膜 期刊论文
硅酸盐学报, 1994, 期号: 2, 页码: 6
Authors:  姬荣斌;  王万录;  廖克俊;  张斌
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立方氮化硼薄膜  射频等离子体  化学气相沉积法  生长条件  
等离子体增强热丝CVD法生长cBN薄膜中的衬底效应 期刊论文
人工晶体学报, 1997, 期号: Z1, 页码: 1
Authors:  陈光华;  张兴旺;  岳金顺;  严辉
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立方氮化硼薄膜  CVD法  衬底  
衬底上立方氮化硼薄膜的大面积生长 期刊论文
兰州大学学报(自然科学版), 1999, 期号: 1, 页码: 5
Authors:  马锡英;  贺德衍;  陈光华
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c-BN薄膜  大面积生长  热丝辅助等离子体CVD  
Synthesis and mechanism of BC2N thin films in stalk-like growth 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2001, 卷号: 50, 期号: 10, 页码: 2023-2027
Authors:  Ma, XY;  He, DY(贺德衍);  Chen, GH;  Ma, XY (reprint author), Lanzhou Univ, Sch Phys Sci & Technol, Lanzhou 730000, Peoples R China.
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BC2N  CVD  
热丝化学气相沉积制备硅氢薄膜及其性质的研究 学位论文
博士, 兰州: 兰州大学, 2011
Authors:  郭小松
Favorite  |    Submit date:2019/01/18
硅氢薄膜  热丝化学气相沉积  热丝温度  衬底温度  氢原子