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铜团簇束在硅上碰撞沉积的薄膜形貌和方块电阻 期刊论文
兰州大学学报(自然科学版), 2004, 期号: 5, 页码: 31-33
Authors:  李公平;  何山虎;  丁宝卫;  张小东;  丁印锋;  包良满;  刘正民;  朱德彰
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铜团簇束沉积  单晶硅  薄膜形貌  薄膜方块电阻  
非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜结构与摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: 183-187
Authors:  周晖;  温庆平;  郝宏;  谭立;  王长胜;  薛德胜;  Zhou, H. (zhouhui510@sina.com.cn)
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非平衡磁控溅射  MoS2-Ti复合薄膜  结构  摩擦磨损性能  MoS2-Ti composite coatings  Tribological properties  Unbalanced magnetron sputter  
Preparation and properties of nano-structure Cu3N thin films 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1687-1692
Authors:  Wu, ZG(吴志国);  Zhang, WW;  Bai, LF;  Wang, J(王君);  Yan, PX(闫鹏勋);  Yan, PX (reprint author), Lanzhou Univ, Inst Plasma & Met Mat, Lanzhou 730000, Peoples R China.
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copper nitride(Cu3N) thin film  multi-arc DC magnetron sputtering  cubic anti-ReO3 structure  氮化铜薄膜  多弧直流磁控溅射  立方反ReO3结构  
中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 2, 页码: 118-122
Authors:  张广安;  王鹏;  陈友明;  王霞;  闫鹏勋;  张俊彦;  Zhang, G.-A.
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中频磁控溅射  Al-DLC薄膜  摩擦磨损性能  Aluminum containing diamond like carbon (Al-DLC) thin films  Medium frequency magnetron sputtering  Tribological properties  
射频磁控溅射法制备Cu3N薄膜及其性能研究 期刊论文
人工晶体学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 635-640
Authors:  袁晓梅;  王君;  吴志国;  岳光辉;  闫鹏勋
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氮化铜薄膜  射频磁控溅射  表面形貌  电阻率  光学带隙  显微硬度  
直流磁控溅射沉积(Ti,Al)N膜的研究 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 1994, 期号: 17, 页码: 5
Authors:  蒋生蕊;  彭栋梁;  赵学应;  谢亮;  李强
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(Ti  Al)N薄膜  磁控溅射  高温氧化  
磁控溅射制备的氧化钒薄膜的结构研究 期刊论文
兰州大学学报(自然科学版), 1999, 期号: 1, 页码: 5
Authors:  王玫;  李喜梅;  崔敬忠;  达道安;  姜万顺;  邱家稳
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氧化钒  薄膜  结构  
钼薄膜的制备、力学性能和磨损性能 期刊论文
材料保护, 2003, 期号: 12, 页码: 11-13
Authors:  许世红;  王金清;  刘维民;  阎鹏勋
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摩擦学  钼薄膜  薄膜硬度  微结构  纳米压入  直流磁控溅射  
负偏压对磁控溅射Ti膜沉积速率和表面形貌的影响 期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 505-508
Authors:  段玲珑;  吴卫东;  何智兵;  许华;  唐永建;  徐金城;  Duan, L.-L. (dlldly_0@sina.com)
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Ti薄膜  磁控溅射  负偏压  沉积速率  表面形貌  DC magnetron sputtering  Negative bias  Titanium film  
退火对反应磁控溅射制备ITO薄膜性能影响 期刊论文
Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Journal of Vacuum Science and Technology, 2003, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 161-164
Authors:  许旻;  邱家稳;  贺德衍;  Xu, M. (mxu02@st.lzu.edu.cn)
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ITO  透明导电薄膜  光学特性  电学特性  Indium tin oxide  Reactive magnetron sputtering  Transparent conductive thin film