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中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 2, 页码: 118-122
Authors:  张广安;  王鹏;  陈友明;  王霞;  闫鹏勋;  张俊彦;  Zhang, G.-A.
Adobe PDF(548Kb)  |  Favorite  |    Submit date：2015/04/27
中频磁控溅射  Al-DLC薄膜  摩擦磨损性能  Aluminum containing diamond like carbon (Al-DLC) thin films  Medium frequency magnetron sputtering  Tribological properties  
含铝类金刚石薄膜的结构及机械性能研究 会议论文
TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
Authors:  张广安;  王鹏;  陈友明;  王霞;  闫鹏勋;  张俊彦
Adobe PDF(686Kb)  |  Favorite  |    Submit date：2015/06/24
类金刚石薄膜  低摩擦系数  类金刚石碳膜  微电子机械系统  生物相容性  半导体材料  耐磨涂层  透过性  薄膜材料  磁控溅射